一、什么是探針臺

探針臺（Probe Station）是一種用于對半導(dǎo)體器件進(jìn)行電性能測試的重要設(shè)備。它通常由精密的機(jī)械結(jié)構(gòu)、高性能的探針針頭和電性能測試儀器組成。探針臺可以對半導(dǎo)體芯片、集成電路和其他微電子器件進(jìn)行直接的電性能測試，從而為研究和生產(chǎn)提供有價(jià)值的信息。

二、探針臺的分類有哪些

一般根據(jù)用戶測試樣品、測試環(huán)境、應(yīng)用類別、產(chǎn)品級別以及操作方式分類，如下：

1、按測試樣品分類，可分為：晶圓測試探針臺、LED測試探針臺、功率器件測試探針臺、MEMS測試探針臺、PCB測試探針臺、液晶面板測試探針臺、太陽能電池片測試探針臺、材料表面電阻率測試探針臺、納米器件測試探針臺。

2、按應(yīng)用及測試環(huán)境分類，可分為：高頻、射頻及微波測試探針臺、高/低溫環(huán)境測試探針臺、高/低溫真空環(huán)境測試探針臺、低電流（fA級）測試探針臺、IC/IV/p-IV測試探針臺、高壓、大電流測試探針臺、特殊氣體環(huán)境測試探針臺、磁場環(huán)境測試探針臺、雙面點(diǎn)針測試探針臺、全封閉式探針臺（非真空環(huán)境）。

3、按級別分類可分為：簡易型探針臺、標(biāo)準(zhǔn)型探針臺、分析型探針臺、高端型探針臺。

4、按操作方式可分為：手動型、半自動型、全自動型。

5、按特殊應(yīng)用測試分為：非標(biāo)準(zhǔn)類結(jié)構(gòu)測試探針臺。