1981年，考入合肥工業(yè)大學(xué)，先后獲得學(xué)士、碩士學(xué)位。
1998年，獲得北京航空航天大學(xué)博士學(xué)位。
2000年，被聘為中國(guó)科學(xué)院微電子研究所研究員和納米加工與新器件集成技術(shù)研究室主任。
2018年，出任中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)國(guó)家示范性微電子學(xué)院院長(zhǎng)。
2022年08月11日，擔(dān)任中芯國(guó)際董事會(huì)審計(jì)委員會(huì)成員。
2015年，當(dāng)選中國(guó)科學(xué)院院士。
2017年03月08日，榮獲中國(guó)科學(xué)院第五屆“十大杰出婦女”榮譽(yù)稱號(hào)。
2018年，當(dāng)選為發(fā)展中國(guó)家科學(xué)院院士。
2007年，項(xiàng)目《中高頻聲表面波關(guān)鍵材料及技術(shù)研究》榮獲“國(guó)家技術(shù)發(fā)明二等獎(jiǎng)”。
2009年，項(xiàng)目《移動(dòng)通訊用濾波器關(guān)鍵技術(shù)及產(chǎn)業(yè)化》榮獲“國(guó)家科技進(jìn)步二等獎(jiǎng)”。
2010年，項(xiàng)目《微納結(jié)構(gòu)‘自上而下’制備核心技術(shù)與集成應(yīng)用》榮獲“北京市科學(xué)技術(shù)一等獎(jiǎng)”。
2013年，項(xiàng)目《高精度微納結(jié)構(gòu)掩模制造核心技術(shù)》榮獲“國(guó)家技術(shù)發(fā)明二等獎(jiǎng)”。
2014年，項(xiàng)目《阻變存儲(chǔ)器及集成的基礎(chǔ)研究》榮獲“北京市科學(xué)技術(shù)二等獎(jiǎng)”。
