1961年，畢業(yè)于清華大學(xué)無線電電子工程系，隨后進(jìn)入中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所工作。
1986年，調(diào)入中國科學(xué)院微電子中心（現(xiàn)中國科學(xué)院微電子研究所）工作。
1986年 - 1989年，擔(dān)任中國科學(xué)院微電子中心第一屆副主任。
1991年 - 1997年，擔(dān)任中國科學(xué)院微電子中心第二屆、第三屆主任。
1991年，當(dāng)選為中國科學(xué)院學(xué)部委員（院士）。
1992年，被國家科學(xué)技術(shù)委員會聘為“深亞微米結(jié)構(gòu)器件和介觀物理”項目首席科學(xué)家。
1991年，當(dāng)選為中國科學(xué)院學(xué)部委員（院士）。
1992年，榮獲全國“三八”紅旗手稱號。
1992年，榮獲“九五”國家重大科技攻關(guān)先進(jìn)個人稱號。
2004年，榮獲“何梁何利基金科學(xué)與技術(shù)進(jìn)步獎”。
1998年，項目《全套0.8微米CMOS工藝技術(shù)》榮獲“中國科學(xué)院科技進(jìn)步一等獎”。
1999年，項目《全套0.8微米CMOS工藝技術(shù)》榮獲“國家科技進(jìn)步二等獎”。
2003年，項目《先進(jìn)的深亞微米工藝技術(shù)及新型器件》榮獲“北京市科學(xué)技術(shù)一等獎”。
