1952年 - 1956年，就讀于清華大學(xué)無線電系，獲學(xué)士學(xué)位。
1956年，畢業(yè)于清華大學(xué)無線電系并留校任教，先后擔(dān)任清華大學(xué)電子工程系助教、講師、副教授，清華大學(xué)無線電電子學(xué)研究所所長、教授。
1960年 - 1963年，在蘇聯(lián)列寧格勒電工學(xué)院進(jìn)修。
1983年 - 1985年，在美國斯坦福大學(xué)應(yīng)用物理系進(jìn)修并任訪問教授。
1994年 - 1999年，兼任中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所副所長。
2002年 - 2009年，擔(dān)任教育部科技委員會副主任。
2003年 - 2004年，擔(dān)任中國科學(xué)院技術(shù)科學(xué)部主任。
2004年 - 2006年，擔(dān)任中國科學(xué)院信息技術(shù)科學(xué)部主任、國家光電子工藝中心主任、中國光學(xué)學(xué)會理事長、國際光學(xué)聯(lián)合會副主席等職務(wù)。
1978年，榮獲“全國科技大會獎”。
1991年，當(dāng)選中國科學(xué)院學(xué)部委員（院士）。
2001年，當(dāng)選發(fā)展中國家科學(xué)院院士。
2003年，榮獲“何梁何利基金科學(xué)與技術(shù)進(jìn)步獎”。
