上海微電子裝備(集團)股份有限公司(簡稱SMEE)主要致力于半導體裝備、泛半導體裝備、高端智能裝備的開發(fā)、設計、制造、銷售及技術服務。公司設備廣泛應用于集成電路前道、先進封裝、FPD面板、MEMS、LED、Power Devices等制造領域。
SMEE致力于以極致服務,造高端產(chǎn)品,創(chuàng)卓越價值,全天候、全方位、全身心地為顧客提供優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品和技術服務。
SMEE已通過ISO27001信息安全、ISO9001質(zhì)量管理和ISO14001環(huán)境管理等體系的國際認證,力求為客戶提供持續(xù)、穩(wěn)定、高品質(zhì)的產(chǎn)品和服務,并履行一個優(yōu)秀的高科技企業(yè)的社會責任。
SMEE已通過GB/T29490企業(yè)知識產(chǎn)權管理規(guī)范認證,先后被評為“上海市專利工作和知識產(chǎn)權示范企業(yè)”、“國家級知識產(chǎn)權示范企業(yè)”、“國家企業(yè)技術中心”。
| 專利號/專利申請?zhí)?/td> | 專利名稱 | 專利詳情 |
| ZL201310747393.8 | 一種調(diào)焦調(diào)平裝置 | 第二十屆中國專利優(yōu)秀獎(2018年) |
| ZL201410857409.5 | 一種硅片邊緣保護裝置 | 第二十屆中國專利優(yōu)秀獎(2018年) |
| ZL201110241791.3 | 一種步進光刻設備及光刻曝光方法 | 第二十一屆中國專利優(yōu)秀獎(2019年) |
| 標準號 | 標準名稱 | 發(fā)布日期 | 實施日期 | 標準詳情 |
| GB/T 40577-2021 | 集成電路制造設備術語 | 2021-10-11 | 2022-05-01 | 詳情 |