一、硅片清洗機(jī)工作原理是什么

硅片清洗機(jī)是利用超聲波清洗技術(shù)，在清洗過程中超聲波頻率在合理的范圍內(nèi)往復(fù)掃動，帶動清洗液形成細(xì)微回流，使工件污垢在被超聲剝離的同時(shí)迅速帶離工件表面，提高清洗效率。

具體的原理有以下：

1、真空脫氣，有效去除液體中氣體，且運(yùn)用拋動功能，增強(qiáng)超聲對工件表面油污和污垢的清洗能力，縮短清洗時(shí)間。

2、洗籃轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)，重疊不可分拆的零件或形狀復(fù)雜的零件，也可做到均勻完整的清洗。

3、減壓真空系統(tǒng)，能吸出盲孔、縫隙及疊加零件之間的空氣，使超聲波在減壓的狀態(tài)下產(chǎn)生驚人的清洗效果。

4、真空蒸汽清洗 真空干燥系統(tǒng)，利用蒸汽洗凈做養(yǎng)護(hù)，完美實(shí)現(xiàn)清洗效果。

5、蒸汽清洗、干燥及清洗液加熱的全過程在減壓真空中進(jìn)行，更有效地確保了安全性。

6、防爆配件及簡潔加熱系統(tǒng)，進(jìn)一步提高安全度。

二、硅片清洗機(jī)操作說明

1、欲清洗工件放入料框內(nèi)專用固定夾內(nèi)，由人工將料框放上入料口，等工位機(jī)械手自動將料框送入清洗機(jī)本體，上下提升機(jī)構(gòu)依照PLC指定的程序?qū)⒘峡虬崴偷较鄳?yīng)高度位置。

2、完成對工件的清洗、噴淋、漂洗、慢提拉脫水和熱風(fēng)干燥后、送至清洗機(jī)出口，運(yùn)送到卸料臺出料，等工位機(jī)械手由氣缸橫向驅(qū)動，直線滑軌導(dǎo)向。

3、上下提升由馬達(dá)驅(qū)動，直線導(dǎo)軸導(dǎo)向，慢提拉提升機(jī)構(gòu)由變頻馬達(dá)驅(qū)動，直線滑塊導(dǎo)向，上下料由上下提升機(jī)構(gòu)獨(dú)立完成，采用觸摸屏操作系統(tǒng)，有手動和自動切換開關(guān)及有關(guān)操作按鈕，能對整個(gè)運(yùn)行過程實(shí)行控制。