一、掃描電鏡的分辨率是多少

掃描電鏡最主要的特征就是其分辨率高，景深長，那么具體的掃描電鏡的分辨率是多少呢？

掃描電鏡具有很高的分辨率，普通掃描電鏡的分辨率為幾納米，場發(fā)射掃描電鏡的分辨率可達1nm，已十分接近透射電鏡的水平。

光學顯微鏡只能在低倍率下使用，而透射電鏡只能在高倍率下使用，掃描電鏡可以在幾倍到幾十萬倍的范圍內(nèi)連續(xù)可調(diào)，彌補了從光學顯微鏡到透射電鏡觀察的一個很大的跨度，實現(xiàn)了對樣品從宏觀到微觀的觀察和分析。

二、掃描電鏡的分辨率受哪些因素影響

前文已經(jīng)簡單了解了掃描電鏡的分辨率，那么你知道掃描電鏡的分辨率受哪些因素影響嗎？

主要影響因素：

1、掃描電子束斑直徑

一般認為在理想的情況下，掃描電鏡的分辨率不可能小于掃描電子束斑直徑，故束斑直徑越小，電鏡的分辨本領(lǐng)越高。束斑直徑主要取決于電子光學系統(tǒng)（電子槍等）。

2、入射電子束在樣品中的擴展效應

例如不同的入射電子能量導致作用區(qū)域不同，高加速電壓時，入射電子能量高，作用深度大，不同深度的信號疊加，無法清晰地表征材料最表面細節(jié)；低加速電壓時，入射電了能量低，作用深度淺，提高了空間分辨率。

3、成像所用信號種類

也是主要與信號本身的能量和信號取樣的區(qū)域范圍，以二次電子為調(diào)制信號和以背散射電子就不一樣，后者分辨率低于前者。