一、潔凈室等級(jí)劃分標(biāo)準(zhǔn)

分級(jí)的核心指標(biāo)是單位體積（每立方米）空氣中，特定粒徑懸浮粒子的最大允許數(shù)量，主要關(guān)注 ≥0.1μm、≥0.2μm、≥0.3μm、≥0.5μm、≥5μm 五個(gè)粒徑區(qū)間（不同等級(jí)關(guān)注的粒徑不同，高潔凈等級(jí)需檢測(cè)更小粒徑）。以下是典型等級(jí)的粒子濃度限值（核心粒徑）：

1. ISO 1 級(jí)

潔凈等級(jí)最高，適用于芯片光刻、超高精度傳感器制造等場(chǎng)景，要求每立方米空氣中 ≥0.1μm 粒子 ≤10 個(gè)，≥0.5μm 粒子幾乎為 0，需采用單向流（層流）氣流組織，且對(duì)溫濕度、振動(dòng)、靜電控制要求極高。

2. ISO 5 級(jí)

是精密制造與醫(yī)藥無(wú)菌區(qū)的常用等級(jí)，每立方米 ≥0.5μm 粒子 ≤3520 個(gè)，≥5μm 粒子 ≤29 個(gè)。典型應(yīng)用包括半導(dǎo)體晶圓加工、制藥無(wú)菌灌裝線(xiàn)、醫(yī)院手術(shù)室（A 級(jí)區(qū)）。

3. ISO 7 級(jí)

每立方米 ≥0.5μm 粒子 ≤352000 個(gè)，≥5μm 粒子 ≤29300 個(gè)，適用于電子元器件組裝、制藥配液區(qū)、醫(yī)療器械生產(chǎn)等場(chǎng)景，多采用非單向流（亂流）氣流。

4. ISO 8 級(jí)

每立方米 ≥0.5μm 粒子 ≤3520000 個(gè)，≥5μm 粒子 ≤293000 個(gè)，是通用性較強(qiáng)的等級(jí)，適用于食品無(wú)菌包裝、化妝品生產(chǎn)、普通電子車(chē)間等場(chǎng)景。

5. ISO 9 級(jí)

潔凈度最低，接近普通受控環(huán)境，適用于對(duì)潔凈度要求不高的輔助區(qū)域，如潔凈室的更衣間、物料暫存區(qū)等。

二、潔凈室等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)的關(guān)鍵說(shuō)明

1.粒徑與等級(jí)的關(guān)聯(lián)

潔凈等級(jí)越高，對(duì)更小粒徑粒子的控制越嚴(yán)格。例如 ISO 1–3 級(jí)需檢測(cè) ≥0.1μm 粒子，而 ISO 7–9 級(jí)僅需檢測(cè) ≥0.5μm 和 ≥5μm 粒子即可滿(mǎn)足分級(jí)要求。

2.檢測(cè)狀態(tài)的影響

等級(jí)限值需明確檢測(cè)狀態(tài)：空態(tài)（無(wú)設(shè)備、無(wú)人員）、靜態(tài)（設(shè)備就緒、無(wú)人員）、動(dòng)態(tài)（正常生產(chǎn) / 操作）。動(dòng)態(tài)下的粒子限值通常會(huì)放寬，因?yàn)槿藛T操作、設(shè)備運(yùn)行會(huì)產(chǎn)生額外粒子。

3.與舊標(biāo)準(zhǔn)的對(duì)應(yīng)關(guān)系

國(guó)內(nèi)早期使用 “百級(jí)、千級(jí)、萬(wàn)級(jí)、十萬(wàn)級(jí)” 的稱(chēng)呼，對(duì)應(yīng) ISO 標(biāo)準(zhǔn)的關(guān)系為：百級(jí)≈ISO 5 級(jí)，千級(jí)≈ISO 6 級(jí)，萬(wàn)級(jí)≈ISO 7 級(jí)，十萬(wàn)級(jí)≈ISO 8 級(jí)，該對(duì)應(yīng)關(guān)系僅為近似參考，正式驗(yàn)收需以 ISO 或 GB/T 25915.1 為準(zhǔn)。