潔凈室分級的核心指標是單位體積(每立方米)空氣中,特定粒徑懸浮粒子的最大允許數(shù)量,主要關注 ≥0.1μm、≥0.2μm、≥0.3μm、≥0.5μm、≥5μm 五個粒徑區(qū)間(不同等級關注的粒徑不同,高潔凈等級需檢測更小粒徑)。以下是典型等級的粒子濃度限值(核心粒徑):
1. ISO 1 級(最高潔凈等級)
適用于芯片光刻、超高精度傳感器制造等場景,要求每立方米空氣中 ≥0.1μm 粒子 ≤10 個,≥0.5μm 粒子幾乎為 0,需采用單向流(層流)氣流組織,且對溫濕度、振動、靜電控制要求極高。
2. ISO 5 級(對應原 “百級” 潔凈室)
是精密制造與醫(yī)藥無菌區(qū)的常用等級,每立方米 ≥0.5μm 粒子 ≤3520 個,≥5μm 粒子 ≤29 個。典型應用包括半導體晶圓加工、制藥無菌灌裝線、醫(yī)院手術室(A 級區(qū))。
3. ISO 7 級(對應原 “萬級” 潔凈室)
每立方米 ≥0.5μm 粒子 ≤352000 個,≥5μm 粒子 ≤29300 個,適用于電子元器件組裝、制藥配液區(qū)、醫(yī)療器械生產(chǎn)等場景,多采用非單向流(亂流)氣流。
4. ISO 8 級(對應原 “十萬級” 潔凈室)
每立方米 ≥0.5μm 粒子 ≤3520000 個,≥5μm 粒子 ≤293000 個,是通用性較強的等級,適用于食品無菌包裝、化妝品生產(chǎn)、普通電子車間等場景。
5. ISO 9 級
潔凈度最低,接近普通受控環(huán)境,適用于對潔凈度要求不高的輔助區(qū)域,如潔凈室的更衣間、物料暫存區(qū)等。